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  • 檢索結果:共8筆資料 檢索策略: "Chao-Chang Chen".eadvisor (精準) and year="107"


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    微振動式射出壓印成形於離軸非球面光柵元件之成形誤差分析研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 王立紘 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究研發整合不同射出成形製程應用於離軸非球面反射式光柵光學元件 (Off-Axial Aspherical Reflective Grating Optical Element, OAA-RGOE…
    • 點閱:208下載:1

    2

    富勒烯複合拋光液應用於電致動力輔助銅化學機械拋光研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 邱上峰 指導教授: 陳炤彰
    • 隨著積體電路(Integrated Circuit, IC)迅速發展演進,晶圓上金屬導線之線寬隨科技發展越來越小,在微型化發展過程中,為達金屬導線線寬微小化之目的,則需進行高解析度之微影製程,晶圓表…
    • 點閱:361下載:1

    3

    乙二胺四乙酸溶液輔助複線式鑽石線鋸加工製程於鉭酸鋰晶圓之研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 蔣易達 指導教授: 陳炤彰
    • 鉭酸鋰晶圓(Lithium Tantalate, LT)於材料上具有獨特優異的焦電(Pyroelectric)、壓電(Piezoelectricity)和電光(Electro-optic)等特性,此…
    • 點閱:269下載:1

    4

    銅化學機械平坦化之軟拋光墊性能指標分析研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 蕭百成 指導教授: 陳炤彰
    • 隨著半導體元件金屬導線製程不斷微細化追求更高解析度的技術。化學機械拋光平坦化(Chemical Mechanical Polishing/Planarization, CMP)不斷面臨許多挑戰。CM…
    • 點閱:219下載:1

    5

    智慧晶圓之無線動態化學機械拋光製程參數壓力與溫度量測系統
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 黃信傑 指導教授: 陳炤彰
    • 在半導體產業中,晶圓於化學機械拋光/平坦化(Chemical Mechanical Polishing /Planarization, CMP)過程中,下壓力變化可能會產生如表面刮傷、翹曲及腐蝕等缺…
    • 點閱:317下載:4

    6

    多顆鑽石修整軌跡於軟韌性聚氨酯拋光墊之模擬分析研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 王澤源 指導教授: 陳炤彰
    • 化學機械平坦化/拋光(Chemical Mechanical Planarization/Polishing, CMP)製程在半導體製程中對於積體電路的製造品質有著舉足輕重的影響,將鑽石修整技術應用…
    • 點閱:206下載:1

    7

    氧化石墨烯複合式拋光液於單晶碳化矽晶圓之化學機械拋光製程分析研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 林妤靜 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽晶圓(Silicon Carbide, SiC)在高功率元件裡相較於單晶單化矽(Silicon)具有高崩潰電壓高寬能隙、高崩潰電壓及高熱傳導率,然而單晶碳化矽具有高硬度(Mohs 9.2)…
    • 點閱:377下載:1

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    聚乳酸白蠟複材之性能改善與 射出成形降解特性研究
    • 機械工程系 /107/ 博士
    • 研究生: 陳彥均 指導教授: 陳炤彰 鍾俊輝 童立生
    • 受惠於材料科學與製造科技的發展,聚乳酸(Poly(lactic acid), PLA)及其成品具有高生物相容性,可應用在生物體內;隨著時間的增加,聚乳酸可以被身體吸收並代謝,無須經過二次的手術取出,…
    • 點閱:190下載:0
    • 全文公開日期 2024/08/02 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/02 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/02 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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